Veshje me karabit silikoni CVD (SiC).

Veshje CVD SiC është në thelb një shtresë karbidi silici e depozituar në grafit dhe përdoret gjerësisht në mjetet e epitaksi ku si temperatura ashtu edhe pastërtia kanë rëndësi. Në linjat reale të prodhimit, shpesh do ta shihni në sisteme nga AIXTRON, ASM/LPE, Veeco, si dhe disa platforma të lidhura me AMAT. Ajo që e bën të dobishëm nuk është vetëm rezistenca ndaj temperaturës, por edhe stabiliteti i përgjithshëm gjatë punimeve të gjata. Në kushte tipike të epitaksi - hidrogjen, amoniak ose edhe gazra të kloruara - veshja qëndron relativisht e qëndrueshme dhe mbron grafitin poshtë. Kjo ndihmon në mbajtjen e fushës termike më të qëndrueshme dhe zvogëlon mundësinë e shfaqjes së grimcave gjatë rritjes.

Shumicën e kohës, veshja aplikohet në pjesë si susceptorët, bartësit e pllakave të predhave, unazat e grafitit ose përbërësit gjysmëhënor. Të gjitha këto janë të përfshira drejtpërdrejt në ngrohjen ose pozicionimin e pllakave të predhave, kështu që çdo paqëndrueshmëri e vogël mund të ndikojë në rendiment. Për këtë arsye, pjesët e veshura shpesh trajtohen si materiale të konsumueshme që ende duhet të jenë të besueshme gjatë cikleve të shumëfishta, veçanërisht në prodhimin 4 deri në 12 inç.