Varka grafiti PECVD me pastërti të lartë

Vështrim produkt

Varkat grafiti PECVD përdoren gjerësisht në linjat e prodhimit të qelizave diellore ku pllakat e silikonit duhet të kalojnë nëpër procese të veshjes me plazmë dhe pasivizimit në mënyrë të përsëritur. Meqenëse bartësi i grafitit bie në kontakt të drejtpërdrejtë me pllakat gjatë ngarkimit, transferimit dhe depozitimit, stabiliteti i tij ka një ndikim të fortë në kontrollin e ndotjes dhe besueshmërinë e automatizimit.

Varkat prej grafiti Semixlab përpunohen nga materiale grafiti të pastruara me përmbajtje të ulët hiri dhe shpërndarje të qëndrueshme të dendësisë. Struktura është projektuar rreth kushteve praktike të funksionimit që gjenden në linjat e prodhimit të vazhdueshëm, veçanërisht aty ku ndryshimet e shpejta të temperaturës dhe trajtimi robotik me frekuencë të lartë janë të zakonshme.

Në përdorim real, shumë fabrika i kushtojnë vëmendje jo vetëm pastërtisë, por edhe deformimit pas cikleve të gjata të prodhimit. Një transportues që përkulet ose ndryshon formën shumë shpejt mund të çojë lehtësisht në probleme transferimi, gërvishtje të pllakave ose pozicione të paqëndrueshme ngarkimi. Për të zvogëluar këto rreziqe, anijet prej grafiti janë projektuar me karakteristika relativisht të ulëta të zgjerimit termik dhe qëndrueshmëri mekanike të përmirësuar.

Madhësi të ndryshme të pllakave dhe konfigurime automatizimi mund të mbështeten gjithashtu sipas kërkesave të pajisjeve të klientit. Produkti përdoret zakonisht për mjediset e prodhimit TOPCon, HJT, PERC dhe mjediset përkatëse të prodhimit PECVD.

Key Features

Material grafiti i pastruar me përmbajtje hiri nën 20 ppm.

Strukturë e qëndrueshme nën cikle të përsëritura ngrohjeje dhe ftohjeje.

Zgjerim termik më i ulët krahasuar me bartësit konvencionalë të grafitit.

I përshtatshëm për sisteme automatike të ngarkimit të pllakave të pllakave.

Deformim i reduktuar gjatë funksionimit afatgjatë të procesit të plazmës.

I pajtueshëm me platformat e prodhimit të pllakave M10 dhe M12.

Struktura e çarjeve të përpunuara ndihmon në përmirësimin e stabilitetit të transferimit.

Në dispozicion për dimensione dhe hapësira hapash të personalizuara.

Shënime për Prodhimin dhe Materialet

Materialet e grafitit të përdorura për këto sisteme bartëse mund të zgjidhen sipas kushteve të procesit të klientit dhe ciklit të shërbimit të pritur. Në varësi të mjedisit të aplikimit, mund të merren në konsideratë si klasat e grafitit të importuara ashtu edhe materialet e pastruara vendase.

Semixlab mbështet gjithashtu rregullimin e përpunimit bazuar në platforma të ndryshme automatizimi, duke përfshirë hapësirën midis çarjeve, strukturën udhëzuese, orientimin e ngarkimit dhe konfigurimin e montimit. Përpara prodhimit masiv, verifikimi dimensional dhe vlerësimi i përpunimit kryhen normalisht sipas vizatimeve të klientit ose kërkesave të mostrës.

Specifikimet teknike