Susceptor Planetar i veshur me SiC

Sceptori Planetar i veshur me SiC i Semixlab është projektuar për epitaksi gjysmëpërçuese të gjeneratës së ardhshme dhe përpunim termik CVD, ku uniformiteti termik, rritja pa defekte dhe stabiliteti afatgjatë i dhomës janë kritike për rendimentin e pajisjes. Ky bartës është projektuar posaçërisht për mjedise me temperaturë të lartë që tejkalojnë 1500°C dhe kiminë komplekse të gazit që gjendet zakonisht në sistemet epitaksiale të silikonit, SiC dhe GaN. Veshja e patentuar SiC siguron një shtresë mbrojtëse të dendur dhe me pastërti të lartë që parandalon ndotjen dhe siguron funksionim të qëndrueshëm dhe me cikël të gjatë në fabrikat e prodhimit me kërkesa të larta.

Në proceset epitaksiale gjysmëpërçuese, të tilla si rritja e Si, SiC dhe GaN, bartësit planetarë të pllakave shërbejnë si platforma kryesore mekanike dhe termike për transportimin e pllakave në zonën e reagimit. Përçueshmëria e tyre termike e optimizuar mundëson shpërndarje të saktë të temperaturës, ndërsa sistemi i rrotullimit planetar siguron uniformitet në shkallët e rritjes, përfshirjen e dopantit dhe cilësinë e kristalit nëpër pllaka të shumëfishta. Në prodhimin e pajisjeve të fuqisë SiC, edhe luhatjet e temperaturës së substratit prej ±1-2% ndikojnë në dendësinë e zhvendosjeve të planit bazal dhe performancën e pajisjes. Uniformiteti termik i përmirësuar i ofruar nga bartësit planetarë të pllakave të veshura me SiC ndihmon fabrikat të zvogëlojnë dendësinë e defekteve, të përmirësojnë uniformitetin e trashësisë dhe të rrisin rendimentin nga njëra-tjetra.

Përtej proceseve epitaksiale, ky susceptor është gjithashtu kritik në proceset e difuzionit të depozitimit kimik të avujve dhe pjekjes termike, duke shërbyer si një ndërfaqe e qëndrueshme termike midis burimit të nxehtësisë dhe sipërfaqes së pllakës së nxehtësisë. Karakteristikat e saj të sipërfaqes pa mbetje dhe me pak grimca minimizojnë rreziqet e kontaminimit gjatë ciklit të zgjatur termik, duke mbrojtur pllakëzat nga gropëzat, formimi i grimcave ose kontaminimi i pjesës së pasme. Krahasuar me montimet mbështetëse konvencionale me bazë grafiti, dizajni i veshjes SiC të Semixlab zgjat ndjeshëm jetëgjatësinë e shërbimit, zvogëlon kohën e ndërprerjes për pastrim dhe rinovim, dhe ofron kosto më të ulëta për linjat e prodhimit me vëllim të lartë.

Çdo Semixlab SiC Coated Planetar Susceptor prodhohet duke përdorur substrate grafiti me pastërti të lartë dhe teknologji të përparuar të depozitimit të veshjes CVD SiC për të siguruar forcën e ngjitjes së veshjes, uniformitetin e trashësisë dhe rezistencën ndaj goditjeve termike. Produkti ofron dimensione dhe konfigurime të personalizueshme për t'iu përshtatur platformave kryesore epitaksiale të përdorura në prodhimin kryesor të pajisjeve gjysmëpërçuese. Shërbimet teknike të Semixlab përfshijnë vlerësimin e performancës së veshjes, konsultimin për pajtueshmërinë e dhomave dhe menaxhimin e ciklit jetësor, të dizajnuara për të ndihmuar fabrikat të zgjerojnë kapacitetin, të ruajnë rendimentin dhe të përmirësojnë ciklet e prodhimit të pajisjeve. Ne mezi presim pyetjet tuaja të mëtejshme.