Mbajtëse pllake CVD SiC

Në epitaksinë e gjysmëpërçuesve të përbërë – si prodhimi GaN-mbi-Si, GaN-mbi-safir ose MicroLED – mbajtësja e pllakës së mbështjelljes (ndonjëherë e quajtur susceptor i veshur me SiC) është një pjesë kritike. Ajo ndodhet midis ngrohësit dhe pllakës së mbështjelljes dhe menaxhon pjesën më të madhe të transferimit termik.

Pse inxhinierët zgjedhin mbajtëset e pllakave SiC të Semixlab?

● Pastërti 7-nëntë (metale totale < 5 ppm) – Ne përdorim një proces të patentuar CVD (të zhvilluar nga Prof. Shaolong He) që i mban metalet në gjurmë si Fe, Cu dhe Ni shumë të ulëta. Kjo do të thotë më pak defekte të rrjetës gjatë rritjes së ndjeshme të GaN.

● Uniformitet i mirë termik (±1 %) – Filmi CVD SiC ka përçueshmëri të lartë termike (~300 W/m·K). Nxehtësia përhapet shpejt dhe në mënyrë të barabartë, gjë që ndihmon në zvogëlimin e harkut të pllakës së drurit dhe stresit termik.

● Rezistencë e fortë ndaj korrozionit të H₂ dhe NH₃ – Ndryshe nga grafiti ose kuarci i zhveshur, veshja jonë e dendur SiC qëndron inerte nën rrjedhat e amoniakut dhe hidrogjenit në temperaturë të lartë (900–1200 °C). Më pak derdhje grimcash dhe pjesa zgjat 3–5 herë më shumë.

● Përputhja CTE – Një shtresë e veçantë tranzicioni gradient mban koeficientin e zgjerimit termik midis veshjes dhe grafitit të përputhur mirë. Pa shkëputje ose çarje, madje edhe gjatë rritjes dhe uljes së shpejtë të temperaturës.

Skenarët kryesorë të aplikimit

● Epitaksi GaN-mbi-Si / GaN-mbi-safir – E rëndësishme për pajisjet e energjisë dhe çipat RF, ku stabiliteti termik lokal ndikon drejtpërdrejt në lëvizshmërinë elektrike të shtresës GaN.

● Ekrane MicroLED dhe të avancuara – Kanë nevojë për pastërti ultra të lartë dhe shumë pak grimca, të cilat mbajtësja jonë i siguron për vargjet LED me dendësi të lartë.

● Rritja e kristalit të SiC (PVT) – Funksionon si një bartës me performancë të lartë për materialin burimor të SiC dhe mund të mbështesë shkallë rritjeje deri në ~1.46 mm/orë.

● Përpunim i shpejtë termik (RTP) – Mbajtësja mund të përballojë goditje ekstreme termike gjatë cikleve të shpejta të pjekjes pa mikroçarje.

Avantazhet e Semixlab

Ne nuk jemi vetëm një furnizues – ne përpiqemi të jemi një partner i vërtetë për nevojat tuaja të fushës termike. Semixlab u themelua nga studiues të Akademisë Kineze të Shkencave dhe ne drejtojmë më shumë se 12 linja prodhimi të dedikuara CVD. Ne gjithashtu kemi përpunim CNC me 5 boshte të brendshme, kështu që mund të prodhojmë mbajtëse pllakash me toleranca deri në ±0.01 mm. Kjo do të thotë se ato përshtaten direkt në setet tuaja globale të mjeteve pa përshtatje shtesë.