Ngrohës grafiti i veshur me SiC për MOCVD

Detajet e produkteve

Ngrohësi MOCVD me grafit të veshur me SiC kombinon përçueshmërinë e shkëlqyer termike të grafitit me rezistencën e lartë ndaj temperaturës dhe korrozionit të veshjeve SiC, dhe përdoret gjerësisht në pajisjet e depozitimit kimik të avujve metalo-organikë (MOCVD) për të siguruar stabilitet dhe pastërti të lartë në proceset e rritjes së epitaksise së pllakave.

Karakteristikat e produktit të ngrohësit MOCVD me grafit të veshur me SiC

1. Pastërti ultra e lartë dhe stabilitet kimik

Pastërtia ≥99.99995%: Ngrohësi ynë i grafitit përgatitet me klorinim në temperaturë të lartë përmes procesit CVD, i cili shmang në mënyrë efektive ndotjen nga papastërtitë metalike dhe plotëson kërkesën për mjedise ultra të pastra në prodhimin e gjysmëpërçuesve.

Korrozioni antikimik: Fortësia e dendur dhe e lartë e veshjes SiC (fortësia Vickers 2500-2800) mund t'i rezistojë erozionit të acideve, alkaleve, kripërave dhe tretësve organikë, gjë që zgjat jetëgjatësinë e pajisjeve në mjedisin e gazit gërryes.

2. Rezistencë e shkëlqyer ndaj temperaturës së lartë

Stabilitet në temperaturë të lartë: mund të përballojë deri në 3000°C në atmosferë inerte, funksionim të qëndrueshëm deri në 2200°C në mjedis vakumi dhe 1600-1700°C në mjedis oksidues, i cili është i përshtatshëm për kushtet ekstreme të dhomës së reagimit MOCVD.

Koeficient i Ulët i Zgjerimit Termik (4.5 x 10-⁶K-¹): Kjo veçori e Ngrohësit të Grafitit MOCVD zvogëlon në mënyrë efektive çarjen ose zhveshjen e veshjes për shkak të ndryshimeve të temperaturës, duke siguruar integritetin strukturor gjatë ciklit termik afatgjatë.

3. Performancë e optimizuar e menaxhimit termik

Përçueshmëri e lartë termike (200-300 W/mK): Përçueshmëria e lartë termike e ngrohësit MOCVD prej grafiti përcakton që produkti mund të transferojë shpejt dhe në mënyrë uniforme nxehtësinë për të arritur shpërndarje të qëndrueshme të temperaturës së sipërfaqes së pllakës (±1°C), duke përmirësuar kështu në mënyrë efektive uniformitetin e shtresës epitaksiale.

Projektimi i Fushës së Rrjedhjes Laminare të Gazit: Pas përsëritjes dhe përmirësimit të vazhdueshëm të teknologjisë, lëmimi i sipërfaqes së Ngrohësit tonë MOCVD (Ra ≤ 0.8μm) dhe optimizimi i gjeometrisë sigurojnë shpërndarje uniforme të gazeve reaktive dhe zvogëlojnë jo-uniformitetin e depozitimit të shkaktuar nga turbulenca.

Krahasimi i Parametrave Teknikë dhe Avantazhet

Pse Semixlab?

Personalizimi: Semixlab është i përkushtuar t'u ofrojë klientëve tanë produkte dhe shërbime teknike të personalizuara. Ne mbështesim personalizimin e madhësive jo standarde (deri në 360 mm në diametër) dhe trashësive të veshjes (20-500 μm) për të përmbushur një gamë të gjerë nevojash për pajisje.

Certifikimi Global: Ngrohësi ynë me grafit të veshur me SiC është GJYSËM në përputhje me standardin SEMI, i certifikuar me ISO 9001, dhe produktet tona eksportohen kryesisht në Evropë dhe Shtetet e Bashkuara, si dhe në Japoni dhe Korenë e Jugut, me një avantazh të konsiderueshëm çmimi/performance.

Sinergjia teknike: Semixlab ka kohë që ka ruajtur bashkëpunim të ngushtë me institucionet kryesore kërkimore në Kinë, duke përdorur teknologji të patentuara të veshjes (siç është procesi SiC³ i CGT Carbon) për të optimizuar dendësinë e veshjes dhe rezistencën ndaj goditjeve termike.