Unazë grafiti e veshur me PG

Nëse keni përdorur ndonjëherë një furrë rritjeje kristalesh SiC, e dini që pjesët e vogla mund të bëjnë një ndryshim të madh. Unaza e grafitit e veshur me PG është një nga ato pjesë - e vendosur në zonën e nxehtë të një sistemi PVT, ndihmon në mbajtjen e profileve të temperaturës të qëndrueshme, përmirëson qëndrueshmërinë nga fillimi në fund dhe zvogëlon ndotjen gjatë atyre cikleve të gjata dhe të kushtueshme të rritjes.

Ne fillojmë me grafit me pastërti të lartë dhe i japim një shtresë të dendur grafiti pirolitik (PG). Krahasuar me grafitin e thjeshtë, versioni i veshur përçon më mirë nxehtësinë, i reziston sulmit kimik dhe lëshon shumë më pak grimca. Dhe ndërsa prodhuesit e pllakave SiC shtyjnë drejt kristaleve më të mëdha dhe rendimentit më të lartë, këto unaza janë bërë një produkt i konsumueshëm - jo vetëm për performancën, por edhe për të mbajtur në punë furra të shumta me rezultate të riprodhueshme.

Çfarë bie në sy?

Shtresë PG me pastërti të lartë – Veshje ka një strukturë karboni të rregulluar mirë që mbetet e pastër dhe e qëndrueshme edhe kur gjërat nxehen shumë. Nuk degradohet lehtë ose nuk lëshon papastërti në mjedisin e rritjes.

I përshtatur për SiC PVT – Vetitë termike të unazës përputhen me nevojat specifike të rritjes së kristalit të karbidit të silicit. Shpërndarja uniforme e nxehtësisë është kritike këtu, dhe ky komponent është projektuar për të ndihmuar në arritjen e kësaj.

Përballon ciklet termike të përsëritura – Po flasim për >2200°C, cikël pas cikli. Unaza ruan formën dhe dimensionet e saj, kështu që nuk keni nevojë të rregulloni vazhdimisht parametrat e procesit.

Gjenerimi i ulët i grimcave – Meqenëse sipërfaqja e PG është kaq e dendur, pluhuri i grafitit dhe shtresat e lirshme zvogëlohen në mënyrë drastike. Kjo do të thotë një dhomë më e pastër dhe më pak defekte në boulën përfundimtare.

Customizable – Keni nevojë për një trashësi të ndryshme muri, një thellësi specifike veshjeje ose një diametër të brendshëm jo standard? Mund të punojmë duke u bazuar në vizatimet tuaja, gjeometrinë e furrës suaj ose edhe në një mostër ekzistuese.

Konsistenca nga grupi në grup – Pavarësisht nëse po porosisni disa pjesë për kërkim-zhvillim apo dërgesa të rregullta për prodhim, ne i mbajmë specifikimet të sakta në mënyrë që të mos keni nevojë të rikualifikoni çdo grup të ri.

Ku përdoren në të vërtetë këto unaza?

● Furrat e rritjes së kristaleve SiC – veçanërisht lloji PVT

● Montime gjysmëpërçuese të zonës së nxehtë

● Komponentë furre grafiti me temperaturë të lartë

● Linjat e prodhimit të bouleve SiC

● Mjete prodhimi gjysmëpërçuesish me gjerësi bande

● Sisteme kërkim-zhvillimi për eksperimente të rritjes së kristaleve

Pse të zgjidhni të veshura me PG në vend të grafitit standard?

Ja një përmbledhje e shpejtë krah për krah:

Struktura më e rregullt e grafitit në veshjen PG jo vetëm që rrit transferimin e nxehtësisë - por gjithashtu ndihmon në stabilizimin e gradientëve termikë, gjë që bëhet veçanërisht e rëndësishme kur rritni kristale me diametër më të madh.

Prodhimi dhe kontrolli i cilësisë - çfarë bëjmë në të vërtetë?

Ne e përpunojmë me saktësi substratin e grafitit, pastaj kryejmë një proces depozitimi CVD të kontrolluar fort për të aplikuar shtresën PG. Pas kësaj, çdo seri kalon nëpër:

● Kontrolle dimensionale

● Matja e trashësisë së veshjes

● Inspektimi i cilësisë së sipërfaqes (si vizual ashtu edhe me instrumente)

● Verifikimi i pastërtisë

● Testet e konsistencës nga grupi në grup

Nëse përdorni disa furra, e dini tashmë sa bezdisëse është kur pjesët zëvendësuese nuk përputhen. Kjo është arsyeja pse ne i kushtojmë vëmendje shtesë mbajtjes së çdo serie sa më afër të jetë e mundur - kjo ju kursen kohë në rikalibrim dhe ndihmon në ruajtjen e një rritjeje të qëndrueshme nga furra në furrë.

Çfarë ofron Semixlab në grafitin e veshur?

Ne specializohemi në grafit të veshur me performancë të lartë për gjysmëpërçuesit, rritjen e kristaleve SiC dhe përpunimin termik të avancuar. Linja jonë e produkteve përfshin:

● Unaza grafiti të veshura me PG

● Enët e veshura me PG

● Udhëzues dhe mbulesa të veshura me PG

● Komponentë të fushës termike të veshura me PG

● Pjesë grafiti të veshura me SiC

● Montime grafiti të bëra me porosi

Gjatë viteve kemi punuar me mjaft prodhues dhe furnizues të pajisjeve të pllakave SiC, kështu që i kuptojmë kërkesat e botës reale të mjediseve me temperaturë të lartë dhe pastërti të lartë.

Specifikimet teknike tipike (vlerat referuese)

Këto mund të përshtaten për të përmbushur kërkesat tuaja specifike.

Disa pyetje që i dëgjojmë shpesh

1. Cili është ndryshimi i vërtetë midis veshjes PG dhe veshjes PyC?

Shkurt, PG (grafiti pirolitik) ka një strukturë kristalore më të rregullt, e cila i jep përçueshmëri termike dhe menaxhim më të mirë të nxehtësisë. PyC (karboni pirolitik) gjithashtu ofron mbrojtje të mirë të sipërfaqes, por performanca e tij termike është përgjithësisht më e ulët. Nëse uniformiteti i fushës termike është kritik, PG është zakonisht zgjidhja më e mirë.

2. A mund t’i bësh këto unaza sipas dizajnit tim?

Absolutisht. Diametri i jashtëm, diametri i brendshëm, lartësia, trashësia e veshjes, madje edhe sipërfaqet e pjesshme të veshjes - ne mund të ndjekim vizatimet tuaja ose të replikojmë një mostër ekzistuese.

3. Cilat industri i përdorin ato më shumë?

Kryesisht rritja e kristaleve të SiC, prodhimi i furrave gjysmëpërçuese dhe çdo përpunim i materialeve në temperaturë të lartë ku pastërtia dhe stabiliteti termik kanë rëndësi.