Lopata me kantilever SiC

Ⅰ. Lopata kantilever SiC me pastërti të lartë për trajtim preciz të pllakave

Lopatat kantilever SiC janë komponentë kritikë të përdorur në pajisjet e përpunimit termik për trajtimin e pllakave gjatë hapave të epitaksise, difuzionit dhe oksidimit në prodhimin e gjysmëpërçuesve. Vetitë e tyre të jashtëzakonshme termike dhe mekanike i bëjnë ato ideale për mjedise me temperaturë të lartë dhe korrozive në operacionet në dhoma të pastra.

Ⅱ. Përmbledhje e produktit dhe avantazhet funksionale

1. Veti të Jashtëzakonshme Materialesh për Aplikime me Performancë të Lartë

Padat Konsolike SiC të Semixlab prodhohen nga veshje karabit të silicit (R-SiC) ose CVD SiC me pastërti të lartë, të rikristalizuara, duke siguruar përçueshmëri termike të shkëlqyer (deri në 120 W/m·K), zgjerim të ulët termik (~4.0 x 10⁻⁶/K) dhe rezistencë të jashtëzakonshme ndaj korrozionit dhe goditjes termike. Këto veti sigurojnë mbështetje të qëndrueshme të pllakës së drurit gjatë proceseve në temperaturë të lartë, duke minimizuar rreziqet e deformimit të pllakës ose kontaminimit.

2. Stabilitet dhe sheshtësi dimensionale superiore

Me deformim minimal edhe në temperatura që tejkalojnë 1400°C, dizajni i konzolit siguron vendosje dhe transferim uniform të pllakës së paketimit, gjë që është jetike për uniformitetin e shtresës epitaksiale. Masa e ulët dhe ngurtësia e lartë e SiC përmirësojnë rendimentin e sistemit dhe reagimin ndaj temperaturës gjatë përpunimit të shpejtë termik.

3. Pastërtia e sipërfaqes së nivelit të dhomës së pastër

Falë sipërfaqes së dendur dhe të lëmuar SiC, lopatat Semixlab minimizojnë gjenerimin e grimcave dhe çlirimin e gazrave. Kjo është veçanërisht e rëndësishme në mjediset që kërkojnë nivele pastërtie të Klasit 1 ose ISO 14644-1 Klasit 2.

4. I përshtatur për furrat epitaksiale, difuzionit dhe CVD

Lopatat tona SiC me konzol përdoren gjerësisht në platformat MOCVD, LPCVD dhe furrat e oksidimit, të pajtueshme me markat kryesore të pajisjeve si ASM, TEL dhe Veeco. Ato janë projektuar për uniformitet optimal termik dhe saktësi mekanike, duke ndihmuar në sigurimin e rendimentit më të lartë dhe ndryshimeve më të ulëta të procesit.

Ⅲ. Pse të zgjidhni Semixlab?

Ne ofrojmë shërbime inxhinierike të përshtatura sipas nevojave tuaja, duke përfshirë:

● Përshtatje e produktit për madhësinë, strukturën dhe gradën e materialit

● Optimizimi i veshjes për rezistencë termike dhe kimike

● Prototipim i shpejtë dhe aftësi prodhimi në sasi të vogla

● Konsulencë teknike dhe validim projektimi

Si një prodhues dhe fabrikë kryesore kineze e produkteve SiC me panele kantilever, Semixlab këmbëngul në ofrimin e zgjidhjeve të teknologjisë dhe produkteve të personalizuara. Nëse dëshironi të optimizoni procesin ekzistues të trajtimit termik, të blini pjesë zëvendësuese me performancë të lartë ose të zhvilloni së bashku zgjidhje të personalizuara SiC, Semixlab do t'ju ofrojë mbështetje teknike dhe të dorëzimit.

● Mbajtës të pllakave të epitaksise MOCVD

● Krahë me lopatë furre për oksidim dhe difuzion

● Sisteme ngarkimi me pllaka në mjetet LPCVD/CVD

● Krahë mbështetës të personalizuar të susceptorit për rritjen e gjysmëpërçuesve të përbërë