EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Tub difuzioni kuarci me pastërti të lartë
Semixlab është një prodhues kryesor i komponentëve të kuarcit në Kinë, i specializuar në projektimin dhe prodhimin e tubave difuzioni kuarci me pastërti të lartë për proceset e oksidimit, difuzionit dhe kalitjes së gjysmëpërçuesve. Të prodhuara nga silicë e shkrirë ultra e pastër (≥99.99% SiO₂) dhe të rafinuara përmes formimit preciz dhe kontrollit të rreptë të ndotjes, çdo tub siguron stabilitet të jashtëzakonshëm termik dhe nivele ultra të ulëta të papastërtisë metalike. Presim me padurim konsultimet tuaja të mëtejshme.
Përshkrim
Tubi i difuzionit të kuarcit me pastërti të lartë Semixlab është projektuar posaçërisht për procese termike me temperaturë të lartë në prodhimin e gjysmëpërçuesve, duke përfshirë oksidimin, difuzionin e dopantëve dhe pjekjen.
I prodhuar nga silicë e shkrirë me pastërti ultra të lartë (≥99.99% SiO₂), çdo tub është projektuar për të ofruar stabilitet kimik të jashtëzakonshëm, ndotje minimale dhe uniformitet të saktë termik, duke siguruar që përpunimi konsistent i pllakave të pllakës rezulton në mjedise të pastra dhe të kërkuara.
Qoftë të integruara në furra difuzioni vertikale apo horizontale, tubat e kuarcit të Semixlab janë formuar me precizion dhe testuar plotësisht për të përmbushur kërkesat e rrepta të prodhimit të IC, LED, MEMS dhe pajisjeve të energjisë.
Aplikime
Zbatime në Proceset Gjysmëpërçuese
1. Oksidimi termik
Në furrat e oksidimit termik, tubat e difuzionit të kuarcit veprojnë si dhoma kryesore e reagimit ku pllakat e silikonit ekspozohen ndaj avujve O₂ ose H₂O në temperatura të larta (900–1150°C).
● Ofron një mjedis të pastër dhe të qëndrueshëm me oksigjen për rritje uniforme të SiO₂.
● Eliminon ndotjen nga jonet metalike, duke siguruar integritet të lartë dielektrik për portën dhe oksidet e izolimit.
Tubi i difuzionit me kuarc me pastërti të lartë është ideal për përpunimin e pllakave
2. Difuzioni i dopantit
Tubat e difuzionit të kuarcit përdoren për të shpërndarë atomet dopant (si fosfori ose bori) në substratin e silikonit për të krijuar profilet e dëshiruara të kryqëzimit.
● Inertiteti i shkëlqyer kimik parandalon ndotjen gjatë reaksioneve POCl₃ ose BBr₃.
● Ruan pastërti të lartë edhe në atmosfera me bazë halogjeni.
3. Proceset e pjekjes dhe të futjes me makinë
Pas implantimit ose depozitimit të jonit, pllakat i nënshtrohen pjekjes në temperaturë të lartë për të aktivizuar dopantët dhe për të riparuar dëmtimin e rrjetës.
● Tubat e kuarcit ofrojnë një dhomë termikisht uniforme dhe me ndotje të ulët për rezultate të qëndrueshme dhe të riprodhueshme.
● I përshtatshëm si për mjediset e kalitjes me N₂ ashtu edhe për ato të formimit të gazit.
4. LPCVD dhe Përpunimi Termik i Kërkimit dhe Zhvillimit
Në furrat LPCVD ose ato kërkimore në shkallë të vogël, tubat e difuzionit të kuarcit mund të shërbejnë si dhomë reagimi dhe si dhomë përmbajtjeje.
● Ideale për depozitimin e polisilikonit, nitritit të silikonit dhe filmave të oksidit.
● Siguron formim të ulët të grimcave dhe përsëritshmëri të lartë në të gjitha ciklet.
Përparësia konkurruese
Avantazhet e Semixlab
1. Pastërtia e Materialit dhe Gjurmueshmëria
Çdo tub kuarci është bërë nga silicë e shkrirë ultra e pastër e furnizuar nga furnizues të çertifikuar. Raportet e analizës ICP-MS janë të disponueshme me kërkesë, duke garantuar gjurmueshmërinë e çdo serie.
2. Prodhim dhe Përshtatje Precize
Semixlab ofron dizajne të personalizuara për të përmbushur dimensionet specifike të furrës, profilet termike dhe modelet e rrjedhjes së gazit të kërkuara nga klientët.
Opsionet përfshijnë:
● Konfigurime tubash vertikale ose horizontale
● Diametra, trashësi muri dhe flanxha fundore të personalizuara
● Sipërfaqe të lëmuara ose të gdhendura
● Dizajne të veçanta trajtimi për transportuesit me shumë pllaka
3. Testime rigoroze dhe sigurim cilësie
Çdo tub difuzioni i nënshtrohet inspektimit dimensional, testimit të integritetit të sipërfaqes dhe simulimit të stresit termik para dërgesës. Kjo siguron përputhshmëri me sistemet kryesore të furrave të difuzionit në industri, të tilla si TEL, Kokusai, Centrotherm dhe ASM.
