Tub furre SiC

Përkufizimi i Produktit dhe Karakteristikat Kryesore

Tubi i furrës SiC është një enë tubulare për temperaturë të lartë e bërë nga qeramika e karbitit të silicit me pastërti të lartë përmes proceseve të sinterimit reaktiv (RBSC) ose depozitimit kimik të avullit (CVD). Ndryshe nga materialet tradicionale të metalit ose kuarcit, struktura unike kristalore e SiC i jep atij veti fizike dhe kimike të pazëvendësueshme, duke i lejuar atij të ruajë stabilitet të shkëlqyer funksional në mjedise ekstreme.

Vetitë kryesore fizike të produktit:

● Tolerancë ndaj temperaturave ultra të larta: Mund të funksionojë në mënyrë të qëndrueshme për një kohë të gjatë në temperatura mbi 1600℃ në një atmosferë inerte, dhe temperatura e sigurt e përdorimit në një atmosferë oksiduese është 1250-1300℃, duke tejkaluar shumë kufijtë e tubave të kuarcit (≤1100℃) dhe lidhjeve rezistente ndaj nxehtësisë (≤1150℃).

● Përçueshmëria termike dhe stabiliteti termik:

Përçueshmëria termike është deri në 100-200 W/m·K, që është më shumë se 100 herë më e lartë se ajo e qelqit të kuarcit. Mund të arrijë shpërndarje uniforme të nxehtësisë në furrë (gradient ≤±2℃), duke eliminuar problemin e pikave të nxehta lokale të zakonshme në tubat tradicionalë të furrës.

Koeficienti i zgjerimit termik është vetëm 4.0×10⁻⁶/℃ (20-1000℃), i kombinuar me një modul të lartë elastik prej 350 GPa, për të siguruar integritetin strukturor gjatë ndryshimeve drastike të temperaturës.

● Rezistenca mekanike dhe rezistenca ndaj konsumimit: Fortësia Mohs ≥9 (e dyta vetëm pas diamantit), rezistenca në përkulje 300 MPa, rezistenca në shtypje 2000 MPa, rezistenca ndaj erozionit të grimcave dhe stresit mekanik.

● Inertiteti kimik: Rezistent ndaj korrozionit të fortë acid si HF dhe HCl, rezistent ndaj gdhendjes me plazmë, veçanërisht i përshtatshëm për mjedisin e gdhendjes së thatë me gjysmëpërçues.

Pse të zgjidhni Semixlab?

Tubat e furrës prej karabit silikoni që ne ofrojmë jo vetëm që plotësojnë kërkesat ekstreme të temperaturës së lartë, pastërtisë së lartë, rezistencës ndaj korrozionit etj., në prodhimin e gjysmëpërçuesve, por gjithashtu fitojnë besimin e klientëve përmes mbështetjes së personalizuar, dorëzimit të shpejtë dhe shërbimit pas shitjes me cilësi të lartë.

Pavarësisht nëse jeni inxhinier i pajisjeve të fabrikës së pllakave të drurit, studiues laboratori apo integrues pajisjesh, ne mund t'ju ofrojmë zgjidhje të besueshme, të qëndrueshme dhe të pastra për procesin tuaj të trajtimit termik të nivelit të lartë. Ju lutemi të na kontaktoni për të filluar përvojën tuaj të re të trajtimit termik me performancë të lartë.

Krahasimi i performancës së tubave të furrës SiC dhe materialeve alternative:

Përdorime specifike në përpunimin dhe prodhimin e gjysmëpërçuesve

Tuba e furrës SiC luan një rol të domosdoshëm në përpunimin dhe prodhimin e gjysmëpërçuesve, dhe zbatimi i saj mbulon disa lidhje kryesore të procesit:

● Furrë difuzioni:

Funksioni: Furra e difuzionit është pajisja kryesore për dopingun, oksidimin, pjekjen dhe procese të tjera në prodhimin e gjysmëpërçuesve. Si shtresa kryesore e furrës së difuzionit, tubi i furrës SiC siguron një dhomë reagimi të qëndrueshme, të pastër dhe në temperaturë të lartë për pllakën.

Avantazhet: Pastërtia e lartë dhe rezistenca ndaj temperaturave të larta e SiC sigurojnë minimizimin e papastërtive gjatë procesit të difuzionit dhe shmangin kontaminimin e pllakës. Stabiliteti i tij i shkëlqyer ndaj goditjeve termike siguron integritetin e tubit të furrës gjatë procesit të ngrohjes dhe ftohjes, si dhe stabilitetin strukturor nën funksionimin afatgjatë në temperatura të larta, në mënyrë që të arrihet përqendrimi i saktë i dopingut dhe rritja uniforme e shtresës së oksidit. Kjo është thelbësore për prodhimin e transistorëve dhe qarqeve të integruara me performancë të lartë.

● Pajisjet PECVD (Depozitimi Kimik i Avujve me Përmirësim të Plazmës)/LPCVD (Depozitimi Kimik i Avujve me Presion të Ulët):

Funksioni: Në pajisjet PECVD/LPCVD, tubat e furrës SiC përdoren si dhoma reagimi për të depozituar filma të hollë të ndryshëm në sipërfaqen e napolitanëve, siç janë oksidi i silikonit, nitridi i silikonit, etj.

Avantazhet: Rezistenca ndaj korrozionit e tubave të furrës SiC u mundëson atyre t'i rezistojnë erozionit të gazrave të procesit (si SiH4, NH3, N2O, etj.), duke siguruar stabilitetin e procesit të depozitimit të filmit dhe cilësinë e shtresës së filmit. Pastërtia e tij e lartë gjithashtu parandalon që filmi të ndotet nga materiali i tubit të furrës, duke siguruar vetitë elektrike dhe optike të shtresës së filmit.

● Pajisjet ALD (Depozitimi i Shtresës Atomike):

Funksioni: ALD është një teknologji që mund të rrisë filma jashtëzakonisht të hollë dhe uniformë. Tubat e furrës SiC ofrojnë një mjedis reagimi të qëndrueshëm dhe të lehtë për t'u pastruar në pajisjet ALD.

Avantazhet: Sipërfaqja e SiC nuk është e lehtë për të adsorbuar pararendësit e reaksionit. Sipërfaqja e saj e lëmuar dhe pastërtia jashtëzakonisht e lartë janë të favorshme për kontrollin e rritjes së filmit në nivel atomik, duke siguruar uniformitet të trashësisë së filmit dhe përsëritshmëri të lartë.

● Furrë pjekjeje me temperaturë të lartë:

Funksioni: Pjekja në temperaturë të lartë është një hap kyç për të eliminuar defektet e pllakës, për të aktivizuar dopantët dhe për të përmirësuar vetitë e materialit.

Avantazhet: Tubat e furrës SiC mund të sigurojnë një mjedis të qëndrueshëm me temperaturë ultra të lartë për të ndihmuar pllakat e metaleve të përfundojnë riparimin e rrjetës dhe aktivizimin e papastërtive, si dhe për të përmirësuar performancën elektrike dhe besueshmërinë e pajisjeve. Fortësia e saj e shkëlqyer mekanike dhe rezistenca ndaj goditjeve termike sigurojnë gjithashtu që tubat e furrës të jenë të paprekur gjatë rritjeve dhe uljeve të shpeshta të temperaturës.

● Zbatime të tjera në temperatura të larta:

Tuba e furrës SiC përdoret gjithashtu në furrat eksperimentale me temperaturë të lartë, furrat e sinterimit të materialeve speciale, etj., në faza të ndryshme të kërkim-zhvillimit, duke siguruar një mjedis të besueshëm me temperaturë të lartë për zhvillimin e materialeve gjysmëpërçuese të teknologjisë së fundit.

Shqetësimet dhe zgjidhjet e përdoruesve

1: Mirëmbajtja e shpeshtë e pajisjeve dhe këputja e lehtë e tubave të kuarcit?

Zgjidhja: Semixlab përdor tuba qeramike prej karbidi silikoni me dendësi të lartë me rezistencë të shkëlqyer ndaj goditjeve termike, të cilat mund të zvogëlojnë ndjeshëm frekuencën e mirëmbajtjes dhe rreziqet e ndërprerjeve.

2: Kërkesat për pastërtinë e produktit janë të larta, si të shmanget ndotja dytësore?

Zgjidhja: Zgjidhni veshjen CVD SiC ose tubin SSiC të dendur me pastërti të lartë, lirimin ultra të ulët të papastërtive metalike, përmbushni standardet e procesit ultra të pastër.

3: A është e vështirë të blihen madhësi ose struktura ndërfaqeje të veçanta?

Zgjidhja: Ne mbështesim personalizimin e vizatimeve dhe përpunimin e strukturës kompozite (siç janë ndërfaqet e flanxhave, tubat e shkallëzuar, kthesat në formë L, etj.) për të përmbushur nevojat tuaja të larmishme dhe komplekse të integrimit të sistemit.

4: Si ta zgjidhim kohën e gjatë të dorëzimit dhe mungesën e garancisë pas shitjes?

Zgjidhja: Si prodhues dhe furnizues kryesor i komponentëve SiC në Kinë, Semixlab ka avantazhet e mëposhtme gjithëpërfshirëse: kapacitet të qëndrueshëm prodhimi + inspektim të rreptë të cilësisë + paketim eksporti + mbështetje teknike, të cilat mund të garantojnë kohën e dorëzimit dhe të ofrojnë besim afatgjatë në bashkëpunim.

Dyqanet e produkteve Semixlab