0200-10377 Dhoma DPS me Unazë të Vetme 195 mm

I prodhuar me materiale qeramike me pastërti të lartë të gradës gjysmëpërçuese dhe teknologji përpunimi preciz, ky përbërës unazor qeramik ofron rezistencë të jashtëzakonshme ndaj erozionit të plazmës, ciklit termik dhe gjenerimit të grimcave në mjedise agresive të gdhendjes së thatë.

Dhoma DPS me Unazë të Vetme AMAT 0200-10377 195 mm është një komponent unazor qeramik preciz që përdoret kryesisht në sistemet AMAT DPS (Burim Plazme i Çliruar) për aplikime të përpunimit të pllakave 200 mm.

Key Features:

● Material qeramik me pastërti të lartë

● Përputhshmëri e shkëlqyer me plazmën RF

● Ndotje dhe gjenerim i ulët i grimcave

● Rezistencë superiore ndaj erozionit të plazmës

● Stabilitet i lartë mekanik dhe termik

● Përpunim preciz për integrimin e dhomës DPS

Rolet në Sistemet AMAT DPS

Në sistemet e gdhendjes me plazmë AMAT DPS, Komponenti Qeramik me Unazë të Vetme 195 mm funksionon si një pjesë kritike e kontrollit të plazmës dhe mbrojtjes së dhomës.

Kontroll i skajit të plazmës

Unaza qeramike ndihmon në optimizimin e shpërndarjes së plazmës pranë skajit të pllakës së gdhendjes, duke përmirësuar uniformitetin e gdhendjes dhe duke minimizuar devijimin e procesit të skajit gjatë përpunimit të plazmës me dendësi të lartë.

ESC dhe Mbrojtja e Dhomës

E instaluar rreth zonës së mandrinës elektrostatike (ESC), unaza vepron si një barrierë mbrojtëse kundër kimikateve agresive të plazmës, duke ndihmuar në uljen e erozionit të dhomës dhe zgjatjen e jetëgjatësisë së komponentëve.

Stabilizimi i Plazmës RF

Me karakteristika dielektrike të qëndrueshme, unaza qeramike kontribuon në përmirësimin e çiftëzimit RF dhe stabilitetin e plazmës brenda dhomës DPS.

Reduktimi i Kontaminimit

Struktura e saj qeramike me pastërti të lartë minimizon gjenerimin e grimcave dhe ndotjen e metaleve, duke mbështetur kërkesat e përparuara të pastërtisë së procesit të gjysmëpërçuesve.

Zbatime tipike në proceset gjysmëpërçuese

Dhoma DPS AMAT 0200-10377 me unazë të vetme 195 mm përdoret gjerësisht në aplikimet e avancuara të gdhendjes së thatë dhe përpunimit të plazmës, duke përfshirë:

Gdhendje dielektrike: Mbështet sjellje të qëndrueshme të plazmës gjatë proceseve të gdhendjes së shtresave të oksidit dhe dielektrikut.

Gdhendje me oksid dhe kontakt: Ndihmon në përmirësimin e uniformitetit të gdhendjes dhe kontrollin e skajeve të pllakës së drurit në kontakt dhe nëpërmjet proceseve të formimit.

Gdhendje metalike: Ofron mbrojtje të dhomës dhe stabilitet të procesit në mjediset e gdhendjes me plazmë metalike.

Përpunim i Avancuar i Plazmës: I përshtatshëm për aplikime me plazmë me dendësi të lartë që kërkojnë ndotje të ulët të grimcave dhe performancë të qëndrueshme RF.

Prodhimi i gjysmëpërçuesve 200 mm: Optimizuar për sistemet AMAT DPS që përpunojnë pllaka 8-inç në fabrika gjysmëpërçuese.

Pse Semixlab?

Semixlab specializohet në komponentë të përparuar qeramikë gjysmëpërçues për pajisje gdhendjeje me plazmë, depozitim dhe përpunim termik.

Ne mundesojme:

● Materiale qeramike të gradës gjysmëpërçuese

● Aftësi përpunimi preciz

● Pjesë gjysmëpërçuese të pajtueshme me OEM

● Kontroll i qëndrueshëm i cilësisë

● Zgjidhje qeramike të personalizuara

Misioni ynë është të mbështesim prodhuesit e gjysmëpërçuesve me zgjidhje materiale të besueshme dhe me performancë të lartë për pajisjet e prodhimit të pllakave të gjeneratës së ardhshme.