0200-06508 Mburoja Qeramike e Sipërme 300 mm

Në sistemet e përparuara të përpunimit të plazmës gjysmëpërçuese, përbërësit e mbrojtjes së dhomës luajnë një rol kritik në ruajtjen e stabilitetit të procesit, kontrollit të ndotjes dhe jetëgjatësisë së pajisjeve. 0200-06508 Ceramic Shield Top 300mm është një përbërës dhome qeramike i projektuar me precizion të lartë, i projektuar për mjedise plazme me performancë të lartë në prodhimin e gjysmëpërçuesve.

Në Semixlab, ne ofrojmë komponentë qeramikë gjysmëpërçues me pastërti të lartë të projektuar për aplikime të kërkuara PECVD, gdhendje me plazmë dhe depozitim, duke ndihmuar fabrikat të përmirësojnë besueshmërinë e dhomës dhe konsistencën e procesit të pllakave.

Vështrim produkt

Një mbulesë mbrojtëse qeramike është një përbërës mbrojtës qeramik i instaluar brenda rajonit të sipërm të dhomave të procesit gjysmëpërçues, zakonisht pranë zonave të gjenerimit të plazmës dhe shpërndarjes së gazit.

Funksioni i tij kryesor është të mbrojë trupin e dhomës dhe strukturat e brendshme metalike nga ekspozimi i drejtpërdrejtë i plazmës, korrozioni kimik dhe grumbullimi i depozitave gjatë proceseve të prodhimit të gjysmëpërçuesve.

Mbulesa Ceramic Shield Top 300 mm 0200-06508 është projektuar për sisteme të përparuara të përpunimit të pllakave 300 mm ku stabiliteti i plazmës, gjenerimi i ulët i grimcave dhe kontrolli i ndotjes janë thelbësore.

● Funksionet kryesore të një mbulese qeramike mbrojtëse

● Mbroni sipërfaqet e dhomës nga erozioni i plazmës

● Zvogëloni ndotjen nga grimcat brenda dhomës

● Mbani mjedise të qëndrueshme RF dhe plazme

● Përmirësoni pastërtinë e dhomës dhe përsëritshmërinë e procesit

● Zgjat intervalet e mirëmbajtjes së pajisjeve dhe jetëgjatësinë e komponentëve

Ndërsa strukturat e pajisjeve gjysmëpërçuese vazhdojnë të tkurren, komponentët e mbrojtjes së dhomës, siç janë mburojat qeramike, janë bërë gjithnjë e më të rëndësishëm për përmirësimin e rendimentit dhe stabilitetin e procesit.

Role tipike në sistemet gjysmëpërçuese

Mbulesa prej qeramike AMAT 0200-06508 përdoret zakonisht në pajisjet e përpunimit të plazmës së Materialeve të Aplikuara (AMAT) për prodhimin e pllakave 300 mm.

I instaluar në rajonin e dhomës së sipërme, ky përbërës qeramik vepron si një pjesë kritike mbrojtëse ndaj plazmës brenda mjediseve të përpunimit të plazmës me dendësi të lartë.

Rolet kryesore përfshijnë:

1. Mbrojtja nga Plazma

Mburoja qeramike izolon strukturën e dhomës nga bombardimi energjik i plazmës, duke ndihmuar në parandalimin e:

● erozioni i murit të dhomës

● ndotje metalike

● dëmtim sipërfaqësor

2. Reduktimi i grimcave

Prodhimi i avancuar i gjysmëpërçuesve kërkon mjedise me grimca jashtëzakonisht të ulëta.

Mburoja prej qeramike ndihmon në minimizimin e:

● spërkatje materialesh

● copëtim

● mbeturina të shkaktuara nga plazma

3. Stabiliteti RF dhe i plazmës

Për shkak të vetive të saj të qëndrueshme dielektrike, mburoja qeramike kontribuon në:

● dendësi e qëndrueshme e plazmës

● sjellje konsistente RF

● uniformitet i përmirësuar i procesit

4. Zgjatja e Jetëgjatësisë së Dhomës

Duke mbrojtur strukturat kritike të dhomave nga sulmi i drejtpërdrejtë i plazmës, mburoja qeramike ndihmon në uljen e konsumimit të dhomave dhe frekuencës së mirëmbajtjes, duke përmirësuar kohën e funksionimit të pajisjeve dhe efikasitetin operativ.

Si përfundim, 0200-06508 Ceramic Shield Top 300mm është një komponent mbrojtës i dhomës prej qeramike alumine me pastërti të lartë, i projektuar për të përmirësuar stabilitetin e plazmës, për të zvogëluar ndotjen dhe për të rritur besueshmërinë e procesit në sistemet e përparuara të prodhimit të gjysmëpërçuesve.

Pse të zgjidhni Semixlab?

Semixlab specializohet në komponentë qeramikë gjysmëpërçues me performancë të lartë për përpunimin e plazmës dhe mjedise të përparuara të prodhimit të pllakave të pllakave.

Ne mundesojme:

● Komponentë të dhomës prej qeramike me pastërti të lartë

● Pjesë këmbimi gjysmëpërçuese precize

● Zgjidhje qeramike rezistente ndaj plazmës sipas porosisë

● Mbështetje e besueshme për aplikacionet OEM dhe fabrikuese gjysmëpërçuese

Produktet tona janë projektuar për të përmbushur kërkesat e rrepta të proceseve moderne të prodhimit të gjysmëpërçuesve. Ne shpresojmë sinqerisht të bëhemi partneri juaj afatgjatë në Kinë.