Shpërndarja e Gazit Super E

Shpërndarësi i Gazit Super E 0200-00410 është një pllakë shpërndarjeje gazi kuarci (GDP) e projektuar me precizion, e projektuar për pajisjet e përpunimit të plazmës gjysmëpërçuese. I instaluar në pjesën e sipërme të dhomës së procesit, ky komponent siguron shpërndarje uniforme të gazrave të procesit në të gjithë sipërfaqen e pllakës së paketimit, duke mundësuar gjenerim të qëndrueshëm të plazmës dhe rezultate të qëndrueshme të përpunimit të pllakës së paketimit.

E prodhuar nga kuarc i shkrirë me pastërti të lartë të gradës gjysmëpërçuese, pllaka e shpërndarjes së gazit 0200-00410 ofron rezistencë të shkëlqyer ndaj korrozionit të plazmës, stabilitet termik superior dhe nivele jashtëzakonisht të ulëta të ndotjes. Këto veti e bëjnë atë një komponent kritik në mjediset e përparuara të prodhimit të gjysmëpërçuesve ku uniformiteti i procesit dhe pastërtia e dhomës janë thelbësore.

Në Semixlab, ne specializohemi në furnizimin e komponentëve të kuarcit me precizion të lartë për pajisjet gjysmëpërçuese, të projektuara për të përmbushur standardet strikte të industrisë për saktësi dimensionale, pastërti dhe besueshmëri afatgjatë.

Vështrim produkt

Pllaka e Shpërndarjes së Gazit 0200-00410 është projektuar për të shpërndarë me saktësi gazrat e procesit në dhomën e reagimit, duke siguruar rrjedhje të qëndrueshme dhe uniforme të gazit në të gjithë sipërfaqen e pllakës së reaksionit.

Ky komponent përdoret gjerësisht në pajisjet e gdhendjes dhe depozitimit me plazmë, ku kontrolli i saktë i rrjedhës së gazit ndikon drejtpërdrejt në stabilitetin e plazmës, uniformitetin e shkallës së gdhendjes dhe performancën e përgjithshme të procesit.

Karakteristikat tipike strukturore

Pllaka e Shpërndarjes së Gazit 0200-00410 është projektuar me karakteristika strukturore të optimizuara për pajisje gjysmëpërçuese me precizion të lartë.

Dizajni i daljes së gazit me shumë vrima:

Pllaka përmban një grup vrimash shpërndarjeje të gazit të projektuara me saktësi që lejojnë injektimin e kontrolluar dhe uniform të gazit në dhomën e procesit.

Zona e përpunimit të petëzave që përputhen me gjeometrinë rrethore:

Dizajni rrethor përputhet me rajonin e përpunimit të pllakës së metalit, duke siguruar që rrjedha e gazit të shpërndahet në mënyrë të barabartë në të gjithë sipërfaqen e pllakës së metalit.

Përpunimi i saktë:

Proceset e përparuara të përpunimit CNC sigurojnë toleranca të ngushta dimensionale dhe vendosje të saktë të vrimave të gazit, të cilat janë thelbësore për ruajtjen e modeleve të qëndrueshme të rrjedhjes së gazit.

Sipërfaqja e lëmuar e kuarcit:

Sipërfaqja e pllakës është përpunuar me kujdes për të minimizuar gjenerimin e grimcave dhe për të ruajtur përputhshmërinë me mjediset ultra të pastra të prodhimit të gjysmëpërçuesve.

Stabiliteti strukturor:

Trashësia dhe forca mekanike e optimizuar e pllakës së kuarcit sigurojnë funksionim të besueshëm në kushte të përpunimit të plazmës me temperaturë të lartë.

Roli në Pajisjet Gjysmëpërçuese

Pllaka e Shpërndarjes së Gazit është një nga komponentët më të rëndësishëm brenda dhomave të përpunimit të plazmës gjysmëpërçuese. Roli i saj kryesor është të sigurojë shpërndarjen e saktë dhe uniforme të gazit, gjë që ndikon drejtpërdrejt në performancën e procesit dhe cilësinë e pllakës së gazit.

Shpërndarja Uniforme e Gazit me Proces:

Dizajni me shumë vrima mundëson që gazrat e procesit të shpërndahen në mënyrë të barabartë në të gjithë sipërfaqen e pllakës së paketimit. Kjo ndihmon në ruajtjen e përqendrimit të qëndrueshëm të gazit në të gjithë dhomën dhe përmirëson uniformitetin e përgjithshëm të procesit.

Përmirësimi i Stabilitetit të Plazmës:

Rrjedha e qëndrueshme e gazit është thelbësore për ruajtjen e dendësisë së qëndrueshme të plazmës. Duke shpërndarë gazrat në mënyrë të barabartë, pllaka e shpërndarjes së gazit kontribuon në gjenerimin e qëndrueshëm të plazmës dhe përmirësimin e përsëritshmërisë së procesit.

Përmirësimi i uniformitetit të procesit:

Kontrolli i saktë i rrjedhës së gazit siguron që shkalla e gdhendjes ose depozitimit të mbetet e qëndrueshme në të gjithë sipërfaqen e pllakës së metalit, duke zvogëluar ndryshimin nga skaji në qendër.

Mbrojtja e Dhomës:

Komponenti vepron gjithashtu si një ndërfaqe strukturore midis sistemit të shpërndarjes së gazit dhe dhomës së reagimit, duke ndihmuar në mbrojtjen e komponentëve përreth dhomës, ndërkohë që ruan kushte të qëndrueshme të procesit.

Materiali dhe Përparësitë Kryesore

Shpërndarësi i Gazit Super E 0200-00410 prodhohet duke përdorur kuarc të shkrirë me pastërti të lartë (SiO₂), një material i përdorur gjerësisht në përpunimin e gjysmëpërçuesve për shkak të vetive të tij të shkëlqyera fizike dhe kimike.

Rezistencë e lartë ndaj plazmës: Kuarci demonstron rezistencë të shkëlqyer ndaj mjediseve agresive të plazmës që gjenden zakonisht në proceset gjysmëpërçuese, duke përfshirë kimikatet me bazë fluori dhe klori. Kjo siguron performancë të qëndrueshme dhe jetëgjatësi të gjatë operative.

Ndotje ultra e ulët: Kuarci i gradës gjysmëpërçuese përmban nivele jashtëzakonisht të ulëta të papastërtive metalike. Kjo ndihmon në parandalimin e ndotjes brenda dhomës së procesit dhe mbështet rendiment të lartë të pllakave dhe besueshmërinë e pajisjes.

Stabilitet i shkëlqyer termik: Kuarci ofron rezistencë të jashtëzakonshme ndaj temperaturave të larta dhe ciklit termik, duke e bërë atë të përshtatshëm për kushte të vështira të përpunimit me plazmë.

Inertiteti kimik: Materiali mbetet kimikisht i qëndrueshëm në mjedise reaktive, duke zvogëluar degradimin e sipërfaqes dhe duke minimizuar gjenerimin e grimcave gjatë funksionimit afatgjatë.

Izolimi elektrik: Si një material izolues elektrik, kuarci nuk ndërhyn me fushat RF brenda dhomave të plazmës, duke lejuar formimin e qëndrueshëm të plazmës dhe kushte të qëndrueshme të procesit.