Piedestal Mbulese Kuarci 150 mm 0200-09734

Në Semixlab, ne ofrojmë komponentë të dhomave gjysmëpërçuese me precizion të lartë, të pajtueshëm me platformat kryesore OEM. Piedestali i Mbulesës së Kuarcit 150 mm është një material i konsumueshëm strukturor kritik që përdoret në dhomat e procesit të pllakave 150 mm, i projektuar për të siguruar stabilitetin e procesit, kontrollin e plazmës dhe mbrojtjen nga ndotja në sistemet e përparuara të filmit të hollë dhe të gdhendjes.

Piedestali i Mbulesës së Kuarcit 150 mm është një përbërës i dhomës së kuarcit me pastërti të lartë që përdoret në pajisjet e procesit Applied Materials 150 mm. Ai funksionon si një mbulesë mbrojtëse ose një mbyllje strukturore rreth zonës së piedestalit të pllakës brenda dhomës së procesit.

Ky komponent nuk është pjesë e vetë mekanizmit të trajtimit të pllakave, por më tepër një pjesë kritike e strukturës së brendshme të dhomës që ndihmon në përcaktimin e mjedisit të procesit gjatë hapave të depozitimit ose gdhendjes. Ai luan një rol thelbësor në ruajtjen e integritetit të dhomës dhe përsëritshmërisë së procesit në platformat e zhvilluara të prodhimit të gjysmëpërçuesve.

Pozicioni dhe Roli Funksional në Pajisje

Brenda dhomave të procesit AMAT 150 mm, piedestali i mbulesës së kuarcit instalohet zakonisht rreth ose sipër rajonit të piedestalit të pllakës së reagimit, duke formuar një pjesë të gjeometrisë së brendshme të dhomës së reagimit.

Funksionet e tij kryesore përfshijnë:

● Mbrojtje fizike e rajonit të piedestalit nga ekspozimi i drejtpërdrejtë i plazmës

● Izolimi i ndotjes, duke parandaluar ekspozimin e pjesëve metalike ndaj mjediseve reaktive të plazmës

● Formësimi i rrjedhës së plazmës dhe gazit, duke kontribuar në shpërndarjen uniforme në të gjithë sipërfaqen e pllakës së plastikës

● Stabilizim i procesit të skajit, duke mbështetur depozitimin uniform të filmit dhe qëndrueshmërinë e gdhendjes

Në funksionimin praktik, ky komponent vepron si një strukturë pasive, por kritike që përcakton gjeometrinë, e cila ndikon drejtpërdrejt në uniformitetin e procesit dhe pastërtinë e dhomës.

Përparësitë kryesore të materialit përfshijnë:

● Stabilitet i shkëlqyer termik në kushte të procesit me temperaturë të lartë

● Gjenerim i ulët i grimcave, duke mbështetur mjedise prodhimi me rendiment të lartë

● Pastërti e lartë kimike, duke minimizuar rreziqet e ndotjes metalike

● Rezistencë e mirë ndaj mjediseve plazmatike, veçanërisht në kimikatet me bazë oksidi dhe fluori

● Stabilitet dimensional, duke siguruar gjeometri të qëndrueshme të dhomës me kalimin e kohës

Megjithatë, kuarci është gjithashtu një material i konsumueshëm në mjediset plazmatike, pasi ai gradualisht i nënshtrohet modifikimit sipërfaqësor dhe gdhendjes nën ekspozimin afatgjatë të procesit.

Mënyrat e zakonshme të dështimit

Ashtu si shumica e komponentëve të dhomës me bazë kuarci, piedestali i mbulesës 0200-09734 është një pjesë e konsumueshme me një cikël jetësor të përcaktuar. Mënyrat e zakonshme të degradimit përfshijnë:

● Erozioni sipërfaqësor i shkaktuar nga plazma, veçanërisht në kimikatet e pasura me fluor

● Zbardhje sipërfaqësore ose formim mjegulle, që tregon modifikim të materialit me kalimin e kohës

● Zhvillimi i mikroçarjeve për shkak të stresit të ciklit termik

● Gjenerimi i grimcave të shkaktuara nga devitrifikimi sipërfaqësor ose dobësimi strukturor

● Grumbullimi i depozitave që çon në ndotje dhe zhvendosje të procesit

Këto mekanizma dështimi zakonisht rezultojnë në rritje të niveleve të grimcave, ulje të stabilitetit të procesit dhe në fund të fundit nevojën për zëvendësim parandalues ​​të planifikuar.

Pse të zgjidhni Semixlab?

Semixlab përqendrohet në materialet harxhuese të dhomave gjysmëpërçuese me performancë të lartë dhe komponentët precizë qeramikë/kuarc për sisteme të përparuara të përpunimit të pllakave. Komponentët tanë janë projektuar për të mbështetur pastërti të lartë, jetëgjatësi të gjatë shërbimi dhe stabilitet të procesit në mjedise kërkuese të prodhimit të gjysmëpërçuesve.

Ne theksojmë saktësinë inxhinierike, qëndrueshmërinë e materialeve dhe përputhshmërinë në nivelin OEM, duke i ndihmuar klientët të ruajnë performancë të qëndrueshme të prodhimit si në nyjet e procesit të trashëguar ashtu edhe në ato të avancuara.

Zbatim tipik në platformat e procesit AMAT 150 mm

Piedestali i mbulesës së kuarcit përdoret gjerësisht në platformat e pajisjeve 150 mm të trashëguara dhe të pjekura, veçanërisht në:

● Dhoma PECVD (Depozitimi i Avujve Kimikë të Përmirësuar me Plazmë)

● Modulet e procesit të depozitimit të oksidit

● Konfigurime të dhomës së gdhendjes së thatë

● Sisteme Centura dhe seria P5000 150 mm

● Variantet e platformës Legacy Producer që mbështesin pllaka 150 mm

Brenda këtyre sistemeve, ai kontribuon në stabilitetin e dhomës së procesit, depozitimin uniform të filmit dhe kontrollin e kufizimit të plazmës, të cilat janë thelbësore për ruajtjen e qëndrueshmërisë së rendimentit në linjat e prodhimit të gjysmëpërçuesve të gjeneratës së vjetër.