Grafit izostatik me pastërti të lartë për gjysmëpërçues

Grafiti izostatik me pastërti të lartë Semixlab, për shkak të pastërtisë së tij të lartë, strukturës së kokërrzave të imëta, dendësisë uniforme, rezistencës ndaj goditjeve termike dhe përpunimueshmërisë së shkëlqyer, përdoret gjerësisht në industrinë e gjysmëpërçuesve. Më poshtë janë produktet kryesore të përfunduara dhe rolet e tyre përkatëse në proceset kritike:

Grafiti izostatik për aplikime gjysmëpërçuese

1. Në MOCVD (Depozitimi i Avujve Kimikë Metal-Organikë)

MOCVD është një proces thelbësor për prodhimin e shtresave epitaksiale të GaN, GaAs dhe SiC. Grafiti izostatik përdoret zakonisht për të prodhuar:

● Receptorët: Shërbejnë si bartës të pllakave të predhave që mbajnë dhe rrotullojnë pllakat brenda reaktorit. Ato sigurojnë transferim uniform të nxehtësisë, duke siguruar rritje të qëndrueshme epitaksiale në të gjithë sipërfaqen e pllakave. Zakonisht të veshura me CVD SiC ose TaC për të përmirësuar rezistencën kimike dhe për të zgjatur jetëgjatësinë.

● Mbajtëse pllakash / Varka grafiti: Përdoren për të ngarkuar shumë pllaka njëkohësisht. Ato kërkojnë përpunim të saktë për të ruajtur rrafshësinë e pllakave dhe për të shmangur kontaminimin.

● Elementet Ngrohëse: Ngrohësit grafit ofrojnë fusha termike të qëndrueshme dhe uniforme, thelbësore për epitaksi me cilësi të lartë.

Roli kyç: Grafiti izostatik siguron uniformitetin e temperaturës, stabilitetin kimik dhe jetëgjatësinë e shërbimit, gjë që ndikon drejtpërdrejt në cilësinë e filmit epitaksial.

2. Në furrat e pjekjes dhe difuzionit

Hapat e përpunimit termik në temperaturë të lartë, siç janë difuzioni i dopantit, oksidimi dhe pjekja, mbështeten shumë në përbërësit izostatikë të grafitit, duke përfshirë:

● Varka me Furrë Difuzioni: Mbajnë pllaka gjatë proceseve të pjekjes në temperaturë të lartë dhe difuzionit dopant. Grafiti siguron stabilitet të shkëlqyer termik dhe deformim minimal nën cikle termike të përsëritura.

● Mbulesat dhe Komponentët Izolues: Mbulesat dhe mburojat prej grafiti mbrojnë dhomat e furrës nga ndotja dhe rrisin uniformitetin e temperaturës.

● Tuba dhe Elemente Ngrohëse: Përdoren si ngrohës rezistence në mjedise me temperaturë të lartë, duke ofruar nxehtësi të saktë dhe të qëndrueshme.

Roli kyç: Komponentët izostatikë të grafitit mundësojnë trajtim termik pa ndotje, të qëndrueshëm dhe të përsëritshëm, thelbësor për aktivizimin e dopantit dhe reduktimin e defekteve.

3. Në Epitaksi SiC (rritje 4H-SiC, 6H-SiC)

Rritja epitaksiale e SiC kërkon temperatura ultra të larta (>1500°C) dhe mjedise gazrash korrozive. Grafiti izostatik përdoret për të prodhuar:

● Substrate të veshura me SiC: Sigurojnë mbështetjen e substratit gjatë epitaksise SiC, duke siguruar shpërndarje të shkëlqyer të nxehtësisë dhe stabilitet të sipërfaqes në kushte ekstreme.

● Lopata dhe Mbajtëse të Napolit prej Grafiti: Sigurojnë napolitanet gjatë rrotullimit dhe rrjedhjes së gazit, duke siguruar shkallë uniforme rritjeje dhe trashësi shtresë.

● Komponentët e Tubit të Procesit: Pjesët strukturore të grafitit brenda reaktorëve epitaksialë i rezistojnë mjediseve agresive duke ruajtur pastërtinë.

Roli kyç: Grafiti izostatik në epitaksinë e SiC siguron saktësi dimensionale, rezistencë kimike dhe menaxhim termik të besueshëm, të cilat ndikojnë drejtpërdrejt në rendimentin e pllakës së pllakave dhe uniformitetin e filmit epitaksial.

Si një furnizues kryesor i grafitit izostatik me pastërti të lartë në Kinë, Semixlab është i përkushtuar për të ofruar produkte të përparuara dhe zgjidhje teknike për industrinë e përpunimit të gjysmëpërçuesve. Ne mirëpresim pyetjet tuaja në çdo kohë dhe shpresojmë sinqerisht të bëhemi partneri juaj afatgjatë.