Mbulesë e veshur me karbid tantali TaC

Si një prodhues kryesor kinez i mbulesave të veshura me karbid tantali (TaC), pllakat e mbulesave të veshura me TaC të Semixlab janë projektuar për mjedise të avancuara të rritjes epitaksiale të gjysmëpërçuesve. Në këto mjedise, temperatura, stabiliteti kimik dhe kontrolli i ndotjes janë faktorë kritikë që përcaktojnë rendimentin e pajisjes. Këto mbulesa të veshura janë projektuar posaçërisht për reaktorët epitaksialë Si, SiC dhe GaN, duke vepruar si një shtresë e rëndësishme vulosëse dhe mbrojtëse brenda dhomës së reagimit, duke mbrojtur sipërfaqet e brendshme nga korrozioni dhe ndotja nga grimcat.

Rritja epitaksiale gjysmëpërçuese, siç është epitaksia Si/SiC/GaN, kërkon formimin e filmave të hollë pa defekte në kushte jashtëzakonisht të vështira procesi. Hidrogjeni, gazrat me bazë klori, amoniaku dhe pararendësit e hidrokarbureve reagojnë vazhdimisht në dhoma në temperatura që shpesh tejkalojnë 1500°C. Veshja tradicionale e dhomave degradon me shpejtësi nën këtë stres kimik dhe termik, duke çuar në derdhjen e grimcave, ndotjen e metaleve dhe intervalet e shkurtuara parandaluese të mirëmbajtjes. Mbulesat tona të veshura me TaC, me pikën e tyre ultra të lartë të shkrirjes (afërsisht 3880°C), rezistencën superiore ndaj plazmës dhe kimikateve, dhe strukturën e dendur të veshjes me porozitet të ulët, shtypin në mënyrë efektive mbetjet e reaksionit sipërfaqësor. Kjo siguron një brendësi të pastër të dhomës, duke zvogëluar mekanizmat e formimit të defekteve, siç janë grimcat, gropëzat sipërfaqësore dhe përhapjen e defekteve të grumbullimit në pllakë.

Në reaktorët epitaksialë, uniformiteti termik dhe stabiliteti i rrjedhës së gazit janë thelbësore për qëndrueshmërinë midis pllakave. Duke ruajtur integritetin strukturor dhe sipërfaqet kufitare jo-reaktive, mbulesat e veshura me TaC ndihmojnë në ruajtjen e simetrisë së dhomës dhe ekuilibrit termik, duke siguruar rritje uniforme të shtresës epitaksiale dhe përfshirjen e dopantit në shumë pllaka. Duke minimizuar kontaminimin dhe duke zgjatur jetëgjatësinë e shërbimit, fabrikat mund të arrijnë përfitime të konsiderueshme operative: kohë të reduktuar joproduktive, kosto totale më të ulët të pronësisë, kohë të optimizuar të funksionimit të pajisjeve dhe kontroll më të rreptë të procesit.

Mbulesat e veshura me TaC të Semixlab prodhohen duke përdorur teknologjinë e përparuar të depozitimit të veshjes CVD Tantal Carbide, kontrollin e ngjitjes së mikrostrukturës dhe metrologjinë precize për të siguruar integritetin e veshjes, uniformitetin e trashësisë dhe rezistencën ndaj goditjeve termike. Mbulesat mbrojtëse mund të dizajnohen sipas porosisë për furrat, MOCVD, LPCVD dhe platformat vertikale epitaksiale SiC/Si. Ne mezi presim të bëhemi partneri juaj afatgjatë në Kinë.