Sceptori LED i Epitaksise

Semixlab SiC Coated Graphite Susceptor për LED Epitaxy përmban një bazë grafiti me dendësi të lartë për stabilitet termik dhe një shtresë të dendur CVD SiC (Ra ≤0.2 μm) për rezistencë ndaj korrozionit. Kjo strukturë siguron transferim uniform të nxehtësisë, inerci kimike dhe besueshmëri afatgjatë në LED MOCVD epitaxy.

Brenda procesit të epitaksisë LED, susceptori i grafitit i veshur me SiC shërben jo vetëm si një mbajtës mekanik i pllakës, por edhe si elementi kryesor i kontrollit termik dhe kimik të sistemit MOCVD. Ai është përgjegjës për përkthimin e energjisë termike hyrëse nga moduli RF ose i ngrohjes rezistente në një fushë temperature të shpërndarë saktësisht dhe të qëndrueshme në pozicione të shumëfishta të pllakës. Përçueshmëria e lartë termike e susceptorit dhe profili i optimizuar i emisivitetit sigurojnë uniformitet të qëndrueshëm të temperaturës pllakë-me-pllakë dhe brenda pllakës - një kusht thelbësor për arritjen e një kontrolli të rreptë mbi trashësinë e filmit GaN dhe AlGaInP, përqendrimin e dopantit dhe cilësinë e kristalit.

Në të njëjtën kohë, veshja SiC siguron një barrierë kimike të fortë që mbron grafitin themelor nga reduktimi i hidrogjenit, korrozioni i amoniakut dhe reaksionet pararendëse metalo-organike. Kjo mbrojtje jo vetëm që zgjat jetëgjatësinë e shërbimit të susceptorit, por gjithashtu parandalon çlirimin e specieve të karbonit që mund të kontaminojnë shtresat epitaksiale në rritje ose të degradojnë efikasitetin ndriçues në çipat LED të përfunduar. Rezultati është një mjedis reagimi më i pastër, frekuencë e reduktuar e mirëmbajtjes dhe stabilitet i përmirësuar afatgjatë i procesit.

Për më tepër, preciziteti sipërfaqësor dhe uniformiteti gjeometrik i susceptorit luajnë një rol vendimtar në ruajtjen e rrjedhës së qëndrueshme të gazit dhe shpërndarjes së prekursorëve brenda dhomës MOCVD. Edhe devijimet delikate në planaritet ose strukturën e veshjes mund të çojnë në ndryshime të shtresës kufitare dhe jo-uniformitete të lokalizuara të trashësisë së filmit. Duke shfrytëzuar teknologjitë e patentuara të veshjes dhe përfundimit të sipërfaqes të Semixlab, secili susceptor arrin një sheshtësi dhe simetri të jashtëzakonshme, duke siguruar dinamikë uniforme të gazit, kinetikë optimale të reagimit dhe karakteristika të përsëritshme të filmit epitaksial.

Në thelb, Semixlab SiC Coated Graphite Susceptor funksionon si stabilizues termik dhe si mburojë ndaj ndotjes, duke ndikuar drejtpërdrejt në rendimentin e LED-ve dhe cilësinë e materialit. Dizajni i tij i përparuar strukturor dhe teknologjia e veshjes i fuqizojnë prodhuesit e gjysmëpërçuesve të arrijnë produktivitet më të lartë, riprodhueshmëri të përmirësuar të procesit dhe kosto totale më të ulët të pronësisë në linjat moderne të prodhimit MOCVD.